પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સેન્સરની રચના

આ સેન્સરમાં, રેઝિસ્ટર સ્ટ્રીપ સિલિકોન પાઇઝોર્સિસ્ટિવ ચિપ બનાવવા માટે એકીકરણ પ્રક્રિયા દ્વારા મોનોક્રિસ્ટલિન સિલિકોન ડાયાફ્રેમ પર એકીકૃત કરવામાં આવે છે, અને આ ચિપની પરિઘ નિશ્ચિતપણે શેલમાં પેક કરવામાં આવે છે, અને ઇલેક્ટ્રોડ લીડ્સ બહાર આવે છે. પાઇઝોર્સિસ્ટિવ પ્રેશર સેન્સર, જેને સોલિડ-સ્ટેટ પ્રેશર સેન્સર તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, તે એડહેસિવ સ્ટ્રેન ગેજથી અલગ છે, જેને સ્થિતિસ્થાપક સંવેદનશીલ તત્વો દ્વારા પરોક્ષ રીતે બાહ્ય બળની અનુભૂતિ કરવાની જરૂર છે, પરંતુ સીધા સિલિકોન ડાયાફ્રેમ દ્વારા માપેલા દબાણને અનુભવે છે.

સિલિકોન ડાયાફ્રેમની એક બાજુ એ એક ઉચ્ચ દબાણવાળા પોલાણ છે જે માપેલા દબાણ સાથે વાતચીત કરે છે, અને બીજી બાજુ વાતાવરણ સાથે વાતચીત કરતી એક ઓછી દબાણની પોલાણ છે. સામાન્ય રીતે, સિલિકોન ડાયાફ્રેમ નિશ્ચિત પરિઘવાળા વર્તુળ તરીકે ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે, અને વ્યાસથી જાડાઈનો ગુણોત્તર લગભગ 20 ~ 60 છે. ચાર પી અશુદ્ધતા પ્રતિકારની પટ્ટીઓ પરિપત્ર સિલિકોન ડાયફ્ર ra મ પર સ્થાનિક રીતે ફેલાયેલી હોય છે અને સંપૂર્ણ પુલ સાથે જોડાયેલ હોય છે, જેમાંથી બે સંકુચિત તાણ ઝોનમાં હોય છે અને અન્ય બે ટેન્સિલ સ્ટ્રેસ ઝોનમાં હોય છે, જે સપ્રમાણતા સાથે છે.

આ ઉપરાંત, ત્યાં સ્ક્વેર સિલિકોન ડાયાફ્રેમ અને સિલિકોન ક column લમ સેન્સર પણ છે. સિલિકોન સિલિન્ડ્રિકલ સેન્સર સિલિકોન સિલિન્ડરના ક્રિસ્ટલ પ્લેનની ચોક્કસ દિશામાં ફેલાયેલી પ્રતિકારક પટ્ટીઓથી પણ પ્રતિકારક પટ્ટીઓથી બનેલી છે, અને બે તણાવ તણાવ પ્રતિકારક પટ્ટાઓ અને બે સંકુચિત તાણ પ્રતિકારક પટ્ટાઓ સંપૂર્ણ પુલ બનાવે છે.

પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સેન્સર એ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીના પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસર અનુસાર સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીના સબસ્ટ્રેટ પર પ્રસરણ પ્રતિકાર દ્વારા બનાવવામાં આવેલ એક ઉપકરણ છે. તેના સબસ્ટ્રેટનો સીધો ઉપયોગ માપન સેન્સર તરીકે થઈ શકે છે, અને ફેલાવો પ્રતિકાર પુલના રૂપમાં સબસ્ટ્રેટમાં જોડાયેલ છે.

જ્યારે સબસ્ટ્રેટ બાહ્ય બળ દ્વારા વિકૃત થાય છે, ત્યારે પ્રતિકાર મૂલ્યો બદલાશે અને પુલ અનુરૂપ અસંતુલિત આઉટપુટનું ઉત્પાદન કરશે. પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સેન્સર તરીકે ઉપયોગમાં લેવાતા સબસ્ટ્રેટ્સ (અથવા ડાયફ્ર ra મ્સ) મુખ્યત્વે સિલિકોન વેફર અને જર્મન વેફર છે. સંવેદનશીલ સામગ્રી તરીકે સિલિકોન વેફરથી બનેલા સિલિકોન પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સેન્સર્સ વધુને વધુ ધ્યાન આકર્ષિત કરે છે, ખાસ કરીને દબાણ અને ગતિને માપવા માટે નક્કર-રાજ્ય પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સેન્સરનો સૌથી વધુ ઉપયોગ થાય છે.