Passat ફ્યુઅલ કોમન રેલ પ્રેશર સેન્સર 06E906051K પર લાગુ

1. પ્રેશર સેન્સર બનાવવા માટેની પદ્ધતિ, જેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટ પૂરું પાડવું, જેમાં સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટ પર પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર, પહેલું ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર અને બીજું ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર બને છે.

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયરમાં નીચલી ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ, પ્રથમ મ્યુચ્યુઅલ ઇલેક્ટ્રોડ નીચલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ જેવા જ સ્તર પર સ્થિત છે અને અલગ અંતરે છે.

કનેક્ટિંગ સ્તરો;

નીચલા ધ્રુવીય પ્લેટની ઉપર બલિદાન સ્તરની રચના;

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક સ્તર, પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયર અને બલિદાન સ્તર પર ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટની રચના;

બલિદાન સ્તર બનાવ્યા પછી અને ઉપરની પ્લેટ બનાવતા પહેલા, પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરમાં

કનેક્શન ગ્રુવ બનાવવું, અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયર સાથે ઇલેક્ટ્રિકલી કનેક્ટ થવા માટે કનેક્શન ગ્રુવને ઉપલા પ્લેટ સાથે ભરવા; અથવા,

ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટની રચના કર્યા પછી, ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરમાં કનેક્ટિંગ ગ્રુવ્સ રચાય છે, જે

કનેક્શન ગ્રુવમાં ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરને જોડતા વાહક સ્તરની રચના;

ઉપલા પ્લેટ અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરને ઇલેક્ટ્રિકલી કનેક્ટ કર્યા પછી, પોલાણ બનાવવા માટે બલિદાન સ્તરને દૂર કરીને.

2. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવા માટેની પદ્ધતિ, જેમાં પ્રથમ સ્તર

ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક સ્તર પર બલિદાન સ્તર બનાવવાની પદ્ધતિમાં નીચેના પગલાં શામેલ છે:

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક સ્તર પર બલિદાન સામગ્રી સ્તર જમા કરવું;

બલિદાન સ્તર બનાવવા માટે બલિદાન સામગ્રી સ્તરની પેટર્નિંગ.

3. દાવા 2 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં ફોટોલિથોગ્રાફી અને કોતરણીનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે.

બલિદાન સામગ્રીનું સ્તર એચિંગ પ્રક્રિયા દ્વારા પેટર્નવાળી છે.

4. દાવા 3 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં બલિદાન સ્તર

સામગ્રી આકારહીન કાર્બન અથવા જર્મેનિયમ છે.

5. દાવા 4 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં બલિદાન સ્તર

સામગ્રી આકારહીન કાર્બન છે;

બલિદાન સામગ્રીના સ્તરને એચીંગ કરવાની પ્રક્રિયામાં વપરાતા ઇચિંગ વાયુઓમાં O2, CO, N2 અને Arનો સમાવેશ થાય છે;

બલિદાન સામગ્રીના સ્તરને એચીંગ કરવાની પ્રક્રિયામાં પરિમાણો છે: O2 ની પ્રવાહ શ્રેણી 18 SCCM ~ 22 SCCM છે, અને CO નો પ્રવાહ દર 10% છે.

પ્રવાહ દર 90 SCCM થી 110 SCCM સુધીનો છે, N2 નો પ્રવાહ દર 90 SCCM થી 110 SCCM સુધીનો છે અને Ar નો પ્રવાહ દર છે.

શ્રેણી 90 SCCM ~ 110 SCCM છે, દબાણ શ્રેણી 90 mtor ~ 110 mtor છે, અને પૂર્વગ્રહ શક્તિ છે

540w-660w.