પાસટ ફ્યુઅલ કોમન રેલ પ્રેશર સેન્સર 06E906051 કે પર લાગુ પડે છે

1. પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની એક પદ્ધતિ, જેમાં સમાયેલ છે:

સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટ પ્રદાન કરવું, જેમાં સેમિકન્ડક્ટર સબસ્ટ્રેટ પર પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર, પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર અને બીજો ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર રચાય છે.

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયરમાં નીચલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ, નીચલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ જેવા જ સ્તર પર સ્થિત પ્રથમ મ્યુચ્યુઅલ ઇલેક્ટ્રોડ અને અંતરે.

કનેક્ટિંગ સ્તરો;

નીચલા ધ્રુવીય પ્લેટની ઉપર બલિદાન સ્તરની રચના;

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર, પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયર અને બલિદાન સ્તર પર ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટની રચના;

બલિદાન સ્તર બનાવ્યા પછી અને ઉપરની પ્લેટની રચના કરતા પહેલા, પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરમાં

કનેક્શન ગ્રુવ રચવું, અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન સ્તર સાથે ઇલેક્ટ્રિકલી કનેક્ટ થવા માટે ઉપલા પ્લેટથી કનેક્શન ગ્રુવ ભરવા; અથવા

ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટની રચના કર્યા પછી, કનેક્ટિંગ ગ્રુવ્સ ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરમાં રચાય છે, જે

ઉપલા ઇલેક્ટ્રોડ પ્લેટ અને કનેક્શન ગ્રુવમાં પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરને જોડતા વાહક સ્તરની રચના;

ઇલેક્ટ્રિકલી ઉપલા પ્લેટ અને પ્રથમ ઇન્ટરકનેક્શન લેયરને કનેક્ટ કર્યા પછી, પોલાણની રચના માટે બલિદાન સ્તરને દૂર કરો.

2. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં પ્રથમ સ્તરમાં

ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર પર બલિદાન સ્તર બનાવવાની પદ્ધતિમાં નીચેના પગલાં શામેલ છે:

પ્રથમ ઇન્ટરલેયર ડાઇલેક્ટ્રિક સ્તર પર બલિદાન સામગ્રીના સ્તરને જમા કરાવવું;

બલિદાન સ્તરની રચના કરવા માટે બલિદાન ભૌતિક સ્તરને પેટિંગ કરવું.

.

બલિદાન ભૌતિક સ્તર એટીંગ પ્રક્રિયા દ્વારા પેટર્નવાળી છે.

4. દાવા 3 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં બલિદાન સ્તર

સામગ્રી આકારહીન કાર્બન અથવા જર્મનિયમ છે.

5. દાવા 4 અનુસાર પ્રેશર સેન્સર બનાવવાની પદ્ધતિ, જેમાં બલિદાન સ્તર

સામગ્રી આકારહીન કાર્બન છે;

બલિદાન સામગ્રીના સ્તરને ઇચિંગ કરવાની પ્રક્રિયામાં ઉપયોગમાં લેવામાં આવતી ગેસમાં ઓ 2, સીઓ, એન 2 અને એઆર શામેલ છે;

બલિદાન સામગ્રીના સ્તરને લગાડવાની પ્રક્રિયાના પરિમાણો છે: ઓ 2 ની ફ્લો રેન્જ 18 એસસીસીએમ ~ 22 એસસીસીએમ છે, અને સીઓનો પ્રવાહ દર 10%છે.

ફ્લો રેટ 90 એસસીસીએમથી 110 એસસીસીએમ, એન 2 નો ફ્લો રેટ 90 એસસીસીએમથી 110 એસસીસીએમ, અને એઆરનો પ્રવાહ દર હોય છે.

શ્રેણી 90 એસસીસીએમ ~ 110 એસસીસીએમ છે, પ્રેશર રેન્જ 90 એમટીઓઆર ~ 110 એમટીઓઆર છે, અને બાયસ પાવર છે

540W ～ 660W。