સેમિકન્ડક્ટર પ્રેશર સેન્સર્સને બે કેટેગરીમાં વહેંચી શકાય છે, એક સિદ્ધાંત પર આધારિત છે કે સેમિકન્ડક્ટર પી.એન. જંકશન (અથવા સ્કોટકી જંકશન) ની લાક્ષણિકતાઓ તાણ હેઠળ બદલાય છે. આ દબાણ સંવેદનશીલ તત્વનું પ્રદર્શન ખૂબ અસ્થિર છે અને મોટા પ્રમાણમાં વિકસિત થયું નથી. બીજો સેમિકન્ડક્ટર પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસર પર આધારિત સેન્સર છે, જે સેમિકન્ડક્ટર પ્રેશર સેન્સરની મુખ્ય વિવિધતા છે. શરૂઆતના દિવસોમાં, સેમિકન્ડક્ટર સ્ટ્રેઇન ગેજેસ મોટે ભાગે સ્થિતિસ્થાપક તત્વો સાથે જોડાયેલા હતા, જેથી વિવિધ તાણ અને તાણ માપવાના ઉપકરણો બનાવવામાં આવે. 1960 ના દાયકામાં, સેમિકન્ડક્ટર ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ ટેક્નોલ .જીના વિકાસ સાથે, પાઇઝોર્સિસ્ટિવ એલિમેન્ટ દેખાય છે તેમ પ્રસરણ રેઝિસ્ટર સાથેનો સેમિકન્ડક્ટર પ્રેશર સેન્સર. આ પ્રકારના પ્રેશર સેન્સરમાં સરળ અને વિશ્વસનીય માળખું છે, કોઈ સંબંધિત ચાલતા ભાગો નથી, અને દબાણ સંવેદનશીલ તત્વ અને સેન્સરનું સ્થિતિસ્થાપક તત્વ એકીકૃત છે, જે યાંત્રિક લેગ અને કમકમાટીને ટાળે છે અને સેન્સરની કામગીરીમાં સુધારો કરે છે.

સેમિકન્ડક્ટર સેમિકન્ડક્ટરની પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસર બાહ્ય બળથી સંબંધિત લાક્ષણિકતા ધરાવે છે, એટલે કે, પ્રતિકારકતા (પ્રતીક દ્વારા રજૂ) તે તાણ સાથે બદલાય છે, જેને પીઝોર્સિસ્ટિવ અસર કહેવામાં આવે છે. એકમ તાણની ક્રિયા હેઠળ પ્રતિકારકતાના સંબંધિત પરિવર્તનને પાઇઝોર્સિસ્ટિવ ગુણાંક કહેવામાં આવે છે, જે પ્રતીક દ્વારા વ્યક્ત કરવામાં આવે છે. ગાણિતિક રૂપે ρ/ρ = π as તરીકે વ્યક્ત કર્યું.

જ્યાં stress તાણ રજૂ કરે છે. તણાવ હેઠળ સેમિકન્ડક્ટર પ્રતિકાર દ્વારા થતાં પ્રતિકાર મૂલ્ય (આર/આર) નો ફેરફાર મુખ્યત્વે પ્રતિકારકતાના પરિવર્તન દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે, તેથી પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસરની અભિવ્યક્તિ પણ આર/આર = πσ તરીકે લખી શકાય છે.

બાહ્ય બળની ક્રિયા હેઠળ, ચોક્કસ તાણ (σ) અને તાણ (ε) સેમિકન્ડક્ટર સ્ફટિકોમાં ઉત્પન્ન થાય છે, અને તેમની વચ્ચેનો સંબંધ સામગ્રીના યંગ મોડ્યુલસ (વાય) દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે, એટલે કે, વાય = σ/ε.

જો સેમિકન્ડક્ટર પરના તાણ દ્વારા પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસર વ્યક્ત કરવામાં આવે છે, તો તે આર/આર = જી છે.

જીને પ્રેશર સેન્સરનું સંવેદનશીલતા પરિબળ કહેવામાં આવે છે, જે એકમ તાણ હેઠળ પ્રતિકાર મૂલ્યના સંબંધિત પરિવર્તનને રજૂ કરે છે.

પાઇઝોર્સિસ્ટિવ ગુણાંક અથવા સંવેદનશીલતા પરિબળ એ સેમિકન્ડક્ટર પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસરનું મૂળ ભૌતિક પરિમાણ છે. તાણ અને તાણ વચ્ચેના સંબંધની જેમ તેમની વચ્ચેનો સંબંધ, સામગ્રીના યંગના મોડ્યુલસ દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે, એટલે કે, જી = π વાય.

સ્થિતિસ્થાપકતામાં સેમિકન્ડક્ટર સ્ફટિકોની એનિસોટ્રોપીને કારણે, યંગના મોડ્યુલસ અને ક્રિસ્ટલ ઓરિએન્ટેશન સાથે પાઇઝોર્સિસ્ટિવ ગુણાંક પરિવર્તન. સેમિકન્ડક્ટર પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસરની તીવ્રતા પણ સેમિકન્ડક્ટરની પ્રતિકારક શક્તિ સાથે નજીકથી સંબંધિત છે. પ્રતિકારક શક્તિ, સંવેદનશીલતા પરિબળ જેટલું ઓછું છે. પ્રસરણ પ્રતિકારની પાઇઝોર્સિસ્ટિવ અસર ક્રિસ્ટલ ઓરિએન્ટેશન અને ફેલાવા પ્રતિકારની અશુદ્ધતા સાંદ્રતા દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે. અશુદ્ધતા સાંદ્રતા મુખ્યત્વે ફેલાવો સ્તરની સપાટીની અશુદ્ધતા સાંદ્રતાનો સંદર્ભ આપે છે.