કાર્ટર એક્સેવેટર માટે એન્જિન પ્રેશર સેન્સર 2CP3-68 1946725

પ્રેશર સેન્સર તૈયાર કરવાની પદ્ધતિ, જેમાં નીચેના પગલાં શામેલ છે:

S1, પાછળની સપાટી અને આગળની સપાટી સાથે વેફર પ્રદાન કરે છે; વેફરની આગળની સપાટી પર પીઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ અને ભારે ડોપેડ સંપર્ક વિસ્તાર બનાવવો; વેફરની પાછળની સપાટીને કોતરીને દબાણયુક્ત ઊંડા પોલાણની રચના;

S2, વેફરની પાછળની બાજુએ સપોર્ટ શીટને જોડવું;

S3, વેફરની આગળની બાજુએ સીસાના છિદ્રો અને મેટલ વાયરનું ઉત્પાદન કરવું અને વ્હીટસ્ટોન બ્રિજ બનાવવા માટે પીઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સને જોડવું;

S4, વેફરની આગળની સપાટી પર પેસિવેશન લેયર જમા કરાવવું અને બનાવવું અને મેટલ પેડ એરિયા બનાવવા માટે પેસિવેશન લેયરનો ભાગ ખોલવો. 2. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સરની ઉત્પાદન પદ્ધતિ, જેમાં S1 ખાસ કરીને નીચેના પગલાંનો સમાવેશ કરે છે: S11: પાછળની સપાટી અને આગળની સપાટી સાથે વેફર પ્રદાન કરવી, અને વેફર પર દબાણ સંવેદનશીલ ફિલ્મની જાડાઈને વ્યાખ્યાયિત કરવી; S12: આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશનનો ઉપયોગ વેફરની આગળની સપાટી પર થાય છે, પીઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સ ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રસરણ પ્રક્રિયા દ્વારા બનાવવામાં આવે છે, અને સંપર્ક વિસ્તારો ભારે ડોપ્ડ હોય છે; S13: વેફરની આગળની સપાટી પર એક રક્ષણાત્મક સ્તર જમા કરવું અને બનાવવું; S14: પ્રેશર સેન્સિટિવ ફિલ્મ બનાવવા માટે વેફરની પાછળના ભાગે પ્રેશર ડીપ કેવિટીને ઈચિંગ અને બનાવવું. 3. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સરની ઉત્પાદન પદ્ધતિ, જેમાં વેફર SOI છે.

1962 માં, ટફ્ટે એટ અલ. પ્રથમ વખત ડિફ્યુઝ્ડ સિલિકોન પીઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સ અને સિલિકોન ફિલ્મ સ્ટ્રક્ચર સાથે પીઝોરેસિસ્ટિવ પ્રેશર સેન્સરનું ઉત્પાદન કર્યું અને પીઝોરેસિસ્ટિવ પ્રેશર સેન્સર પર સંશોધન શરૂ કર્યું. 1960 ના દાયકાના અંતમાં અને 1970 ના દાયકાની શરૂઆતમાં, સિલિકોન એનિસોટ્રોપિક એચિંગ ટેક્નોલોજી, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટેક્નોલોજી અને એનોડિક બોન્ડિંગ ટેક્નોલોજી નામની ત્રણ ટેક્નોલોજીના દેખાવે પ્રેશર સેન્સરમાં મોટા ફેરફારો કર્યા, જેણે પ્રેશર સેન્સરની કામગીરીને સુધારવામાં મહત્વની ભૂમિકા ભજવી. . 1980 ના દાયકાથી, માઇક્રોમશિનિંગ ટેક્નોલોજીના વધુ વિકાસ સાથે, જેમ કે એનિસોટ્રોપિક એચિંગ, લિથોગ્રાફી, ડિફ્યુઝન ડોપિંગ, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન, બોન્ડિંગ અને કોટિંગ, પ્રેશર સેન્સરનું કદ સતત ઘટાડવામાં આવ્યું છે, સંવેદનશીલતામાં સુધારો કરવામાં આવ્યો છે, અને આઉટપુટ વધારે છે. પ્રદર્શન ઉત્તમ છે. તે જ સમયે, નવી માઇક્રોમશીનિંગ ટેક્નોલોજીનો વિકાસ અને ઉપયોગ પ્રેશર સેન્સરની ફિલ્મની જાડાઈને ચોક્કસ રીતે નિયંત્રિત કરે છે.