કાર્ટર ખોદકામ માટે એન્જિન પ્રેશર સેન્સર 2 સીપી 3-68 1946725

એન્જિન પ્રેશર સેન્સર 2 સીપી 3-68 1946725 કાર્ટર ખોદકામ માટે ફીચર્ડ ઇમેજ

ટૂંકા વર્ણન:

ઓ:1946725

માપન શ્રેણી:0-600bar

માપન ચોકસાઈ:1%એફએસ

અરજીનો વિસ્તાર:કાર્ટરમાં વપરાય છે

અમને ઇમેઇલ મોકલો

ઉત્પાદન વિગત

ઉત્પાદન ટ tag ગ્સ

ઉત્પાદન પરિચય

પ્રેશર સેન્સર તૈયાર કરવાની એક પદ્ધતિ, નીચેના પગલાઓનો સમાવેશ કરીને વર્ગીકૃત:

એસ 1, પાછળની સપાટી અને આગળની સપાટી સાથે વેફર પ્રદાન કરે છે; પાઇઝોર્સિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ અને વેફરની આગળની સપાટી પર ભારે ડોપ કરેલા સંપર્ક ક્ષેત્રની રચના; વેફરની પાછળની સપાટીને ઇચ કરીને દબાણ deep ંડા પોલાણની રચના;

એસ 2, વેફરની પાછળના ભાગમાં સપોર્ટ શીટ બંધન;

એસ 3, વેફરની આગળની બાજુએ લીડ છિદ્રો અને મેટલ વાયરનું ઉત્પાદન, અને પીઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સને વ્હીટસ્ટોન બ્રિજ બનાવવા માટે જોડતા;

એસ 4, વેફરની આગળની સપાટી પર પેસિવેશન લેયર જમા કરાવવું અને રચવું, અને મેટલ પેડ વિસ્તાર બનાવવા માટે પેસિવેશન લેયરનો પ્રારંભિક ભાગ. 2. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સરની ઉત્પાદન પદ્ધતિ, જેમાં એસ 1 ખાસ કરીને નીચેના પગલાઓનો સમાવેશ કરે છે: એસ 11: પાછળની સપાટી અને આગળની સપાટી સાથે વેફર પ્રદાન કરે છે, અને વેફર પર દબાણ સંવેદનશીલ ફિલ્મની જાડાઈ વ્યાખ્યાયિત કરે છે; એસ 12: આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશનનો ઉપયોગ વેફરની આગળની સપાટી પર થાય છે, પાઇઝોરેસિસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સ ઉચ્ચ-તાપમાન પ્રસરેલા પ્રક્રિયા દ્વારા બનાવવામાં આવે છે, અને સંપર્ક પ્રદેશો ભારે ડોપ કરેલા હોય છે; એસ 13: વેફરની આગળની સપાટી પર રક્ષણાત્મક સ્તર જમા અને રચના; એસ 14: પ્રેશર સંવેદનશીલ ફિલ્મ બનાવવા માટે વેફરની પાછળના ભાગમાં પ્રેશર deep ંડા પોલાણની રચના અને રચના. 3. દાવા 1 અનુસાર પ્રેશર સેન્સરની ઉત્પાદન પદ્ધતિ, જેમાં વેફર સોઇ છે.

1962 માં, તુફ્ટે એટ અલ. પ્રથમ વખત ફેલાયેલા સિલિકોન પાઇઝોરેસ્ટિવ સ્ટ્રીપ્સ અને સિલિકોન ફિલ્મ સ્ટ્રક્ચર સાથે પાઇઝોર્સિસ્ટિવ પ્રેશર સેન્સર બનાવ્યું, અને પાઇઝોર્સિસ્ટિવ પ્રેશર સેન્સર પર સંશોધન શરૂ કર્યું. 1960 ના દાયકાના અંતમાં અને 1970 ના દાયકાના પ્રારંભમાં, ત્રણ તકનીકીઓનો દેખાવ, એટલે કે, સિલિકોન એનિસોટ્રોપિક એચિંગ ટેકનોલોજી, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન ટેકનોલોજી અને એનોડિક બોન્ડિંગ ટેકનોલોજી, પ્રેશર સેન્સરમાં મોટા ફેરફારો લાવ્યા, જેણે પ્રેશર સેન્સરની કામગીરીમાં સુધારો કરવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવી હતી. 1980 ના દાયકાથી, એનિસોટ્રોપિક એચિંગ, લિથોગ્રાફી, ડિફ્યુઝન ડોપિંગ, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન, બોન્ડિંગ અને કોટિંગ જેવી માઇક્રોમેચાઇનીંગ ટેકનોલોજીના વધુ વિકાસ સાથે, પ્રેશર સેન્સરનું કદ સતત ઘટાડવામાં આવ્યું છે, સંવેદનશીલતામાં સુધારો થયો છે, અને આઉટપુટ વધારે છે અને કામગીરી ઉત્તમ છે. તે જ સમયે, નવી માઇક્રોમેચાઇનિંગ ટેકનોલોજીનો વિકાસ અને એપ્લિકેશન પ્રેશર સેન્સરની ફિલ્મની જાડાઈને સચોટ રીતે નિયંત્રિત કરે છે.